低溫探針臺(tái)CPS-xxx-CF系列是一款成本低、穩(wěn)定、可靠和方便的低溫半導(dǎo)體測(cè)試甚至低溫晶圓級(jí)別測(cè)試器件的低溫探針臺(tái)系統(tǒng)。內(nèi)置振動(dòng)隔離，智能熱管理和工程熱膨脹補(bǔ)償使低溫探針臺(tái)系統(tǒng)非常適合于寬范圍從納米電子學(xué)應(yīng)用（石墨烯的研究，分子電子學(xué)，量子計(jì)算等）以空間為基礎(chǔ)的電子測(cè)試。

規(guī)格：

• 試樣尺寸：25、50mm、100mm、150mm或200mm可選

• 無冷閉式循環(huán)制冷機(jī)（S）：包括冷頭、壓縮機(jī)、制冷機(jī)和所需的氦氣軟管。           

• 溫度范圍：標(biāo)準(zhǔn)10K～400K，4.2K到480k可供選擇        

• 溫度精度：0.1k或更好          

• 熱探針臂和輻射屏蔽           

• 卡盤和探針臂的溫度監(jiān)測(cè)

• 輻射屏蔽和cryohead溫度監(jiān)測(cè)是可選的。            

• 真空壓力   

• 窗口材料：熔融石英，定制的材料和涂料是可用的。             

• 相機(jī)：數(shù)碼相機(jī)從1像素到10像素。圖像和視頻采集軟件以及尺寸測(cè)量能力